MicroWriter – systemy do litografii laserowej

MicroWriter jest naszym nowym systemem do litografii laserowej, który oferuje wszystko, czego potrzeba badaczom do przeprowadzania doświadczeń z użyciem litografii laserowej. System składa się z piętnastu laserów o zakresie 405nm, które działają w układzie równoległym (każdy laser ma dostęp do obszaru wafla 200mm x 10mm) przy rozdzielczości 5μm. System będzie posiadał dodatkowo jeden laser o zakresie 405nm, który będzie miał dostęp do wszystkich obszarów na waflu, przy ustawionej rozdzielczości 1μm, oraz niezależny autofokus i kamerę CCD. Poza standardową konfiguracją urządzenie może być wyposażone w wysokiej rozdzielczości laser 405nm, który zapewnia rozdzielczość druku 0,6μm, laser o ultra wysokiej rozdzielczości (0,4μm przy 405nm), druk UV (375nm dla 1μm), lub opcję wysokiej prędkości nanoszenia druku (rozdzielczość 2μm przy 405nm).

Maksymalny rozmiar podłoża wynosi 230 x 230mm² i jest ono utrzymywane przez uchwyt próżniowy. Obszar druku wynosi 200 x 200mm² i może być zapisywany jako pojedyncze pole, tj. bez zszywania. Najmniejsza konstrukcja dla wysokiej rozdzielczości druku może mieć rozmiar 600nm, zaś przy standardowej konfiguracji może wynosić 1μm.

Największą zaletą urządzenia jest duża prędkość, zawdzięczana piętnastu laserom oraz jednemu laserowi o dużej rozdzielczości. Na standardowej oporności kwadracie o rozmiarze 200mm uzyskiwane są prędkości:

lasery o rozdzielczości 5μm - 25mm²/min na laser → 15 x 25mm²/min = 375mm²/min połączonej prędkości druku
laser o rozdzielczości 1μm – 4mm²/min
laser o rozdzielczości 0,6μm – 3mm²/min
laser o rozdzielczości 2μm – 8mm²/min